mems(ระบบกลไกไฟฟ้าขนาดเล็ก) ไมโครโฟนเป็นไมโครโฟนที่ใช้เทคโนโลยีสารตั้งต้น MEMS IC. เพียงแค่ใส่, ตัวเก็บประจุถูกรวมเข้ากับชิปซิลิกอนขนาดเล็ก, ซึ่งติดตั้งบนพื้นผิว IC ด้วย ASIC ที่เหมาะสมโดยกระบวนการติดพื้นผิว. ในที่สุด, มันถูกห่อหุ้มด้วยการหุ้มเปลือกไว้. รูปภาพต่อไปนี้แสดงโครงสร้างแพ็คเกจไมโครโฟน MEMS ทั่วไป. เปรียบเทียบกับไมโครโฟน ECM แบบดั้งเดิม, ไมโครโฟน MEMS มีข้อดีดังต่อไปนี้: อัน. ติดพื้นผิว, การผลิตอัตโนมัติเต็มรูปแบบ, ประสิทธิภาพการผลิตสูงและความสม่ำเสมอของประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์; ข. สามารถทนต่ออุณหภูมิรีโฟลว์ด้านบนได้ 250 องศาเซลเซียส, ความชื้นในการทำงานและช่วงอุณหภูมิในการทำงานมากกว่าไมโครโฟน ECM; C. นอกจากนี้ยังมีการปรับปรุงประสิทธิภาพในการกำจัดเสียงรบกวนและการปราบปราม RF และ EMI ที่ดี.
บรรจุภัณฑ์ไมโครโฟน MEMS
mems(ระบบกลไกไฟฟ้าขนาดเล็ก)
วัสดุบรรจุภัณฑ์ไมโครโฟน MEMS ส่วนใหญ่ประกอบด้วยชิป MEMS, ชิป ASIC, สารตั้งต้น PCB IC, เปลือกโลหะ, ชิปเพสต์ MEMS และซิลิกาเจลเคลือบ ASIC, ชิป ASIC วาง, วงจรต่อสายทองทั่วไป, น้ำยาประสานสำหรับการเชื่อมเปลือกโลหะและพื้นผิว PCB. ต่อไปนี้เป็นรูปภาพของวัสดุบรรจุภัณฑ์ไมโครโฟน MEMS. ควรสังเกตว่าเนื่องจากโครงสร้างพิเศษของชิป MEMS, ควรให้ความใส่ใจเป็นพิเศษกับการเลือกกาวติดยึด, นั่นคือ, ให้ความสนใจกับความแข็งและโมดูลัสของการรดน้ำของ Young, เพื่อให้แน่ใจว่าชิป MEMS มีความเครียดต่ำ, เพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบของความเครียดที่เกิดจากความไวของไมโครโฟน MEMS ในบรรจุภัณฑ์.
วัสดุเมมส์
โครงสร้างของชิป MEMS กำหนดว่าบรรจุภัณฑ์พื้นผิว IC ของชิป MEMS จะเป็นบรรจุภัณฑ์ที่แตกต่าง, และผลิตภัณฑ์หนึ่งรายการจะสอดคล้องกับบรรจุภัณฑ์ประเภทหนึ่ง, ดังนั้นจึงไม่มีบริษัทใดสามารถครอบคลุมบรรจุภัณฑ์พื้นผิว I C ของเซ็นเซอร์ MEMS ได้ทั้งหมด. กระบวนการบรรจุภัณฑ์ของไมโครโฟน MEMS ส่วนใหญ่ประกอบด้วย: วางชิป, สายเชื่อมลวดทอง, ชิปป้องกันการติดกาวแบบจุด, การเชื่อมเปลือก, การทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์, การเขียน, การบรรจุและกระบวนการอื่นๆ. กระบวนการห่อหุ้มแสดงในรูปด้านล่าง. จำเป็นต้องทราบเป็นพิเศษเนื่องจากโครงสร้างเมมเบรนของไมโครโฟน MEMS สภาพแวดล้อมที่เป็นเอกลักษณ์มีอิทธิพลต่อสิ่งแปลกปลอมในประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์, และกระบวนการบรรจุภัณฑ์, รวมถึงร่างกายมนุษย์ด้วย, เป็นฝุ่นหรือพาหะต่างประเทศ, ชิปเป็นเรื่องง่ายมากต่อมลภาวะ, บรรจุภัณฑ์ที่สมบูรณ์จะต้องดำเนินการในการประชุมเชิงปฏิบัติการการทำให้บริสุทธิ์ระดับพัน, บุคลากรการบ้านการประชุมเชิงปฏิบัติการจำนวนกฎระเบียบที่เข้มงวด.