ممس(النظام الكهروميكانيكي الصغير) الميكروفون هو ميكروفون يعتمد على تقنية الركيزة MEMS IC. ببساطة, تم دمج مكثف على شريحة السيليكون الصغيرة, والتي يتم تركيبها على ركيزة IC مع ASIC مناسب عن طريق عملية ربط السطح. أخيراً, يتم تغليفه بتغطية القشرة. توضح الصورة التالية بنية حزمة ميكروفون MEMS النموذجية. مقارنة بميكروفونات ECM التقليدية, تتمتع ميكروفونات MEMS بالمزايا التالية: أ. جبل السطح, الإنتاج الآلي بالكامل, كفاءة إنتاج عالية واتساق جيد لأداء المنتج; ب. يمكن أن تتحمل درجة حرارة إنحسر أعلاه 250 درجة مئوية, رطوبة التشغيل ونطاق درجة حرارة التشغيل أكبر من ميكروفون ECM; ج. كما أنه يحتوي على أداء محسّن للتخلص من الضوضاء وقمع جيد للترددات اللاسلكية والتداخل الكهرومغناطيسي.
تغليف ميكروفون MEMS
ممس(النظام الكهروميكانيكي الصغير)
تشتمل مواد تغليف ميكروفون MEMS بشكل أساسي على شريحة MEMS, شريحة أسيك, الركيزة IC ثنائي الفينيل متعدد الكلور, قذيفة معدنية, عجينة رقاقة MEMS وهلام السيليكا المطلي بـ ASIC, لصق رقاقة ASIC, دائرة توصيل سلك الذهب العام, معجون لحام للغلاف المعدني واللحام الركيزة ثنائي الفينيل متعدد الكلور. فيما يلي صورة لمواد تغليف ميكروفون MEMS. تجدر الإشارة إلى أنه بسبب الهيكل الخاص لرقائق MEMS, ينبغي إيلاء اهتمام خاص لاختيار الغراء اللاصق, إنه, للانتباه إلى صلابة ومعامل يونغ للري, للتأكد من أن رقائق MEMS لديها ضغط منخفض, لتجنب تأثير الضغط الناتج عن حساسية ميكروفون MEMS.
مواد ممس
يحدد هيكل شريحة MEMS أن التغليف الأساسي لرقاقة MEMS IC سيكون عبارة عن عبوات مختلفة, وسيتوافق منتج واحد مع نوع واحد من التغليف, لذلك لا يمكن لشركة واحدة أن تغطي بشكل كامل جميع العبوات الأساسية لمستشعر MEMS I C. تتضمن عملية التعبئة والتغليف لميكروفون MEMS بشكل أساسي: لصق رقاقة, خط لحام سلك الذهب, نقطة الإلتصاق رقاقة الحماية, لحام القشرة, وضع العلامات بالليزر, الكتابة, التعبئة والتغليف وغيرها من العمليات. تظهر عملية التغليف في الشكل أدناه. هناك حاجة إلى ملاحظة خاصة بسبب تأثير البيئة الفريدة لهيكل غشاء ميكروفونات MEMS على الأجسام الغريبة على أداء المنتجات, وعملية التعبئة والتغليف, بما في ذلك جسم الإنسان, هو الغبار أو الناقلات الأجنبية, رقاقة من السهل جدا أن تلوث, يجب أن يتم التغليف الكامل في ورشة تنقية الألف درجة, ورشة عمل الواجبات المنزلية الموظفين عدد من اللوائح الصارمة.
